真空技術(shù)是建立低于大氣壓的物理環(huán)境,并在此環(huán)境中進(jìn)行工藝制造、物理測(cè)量和科學(xué)實(shí)驗(yàn)的必要技術(shù)。真空技術(shù)主要包括真空采集、真空測(cè)量、真空檢測(cè)和真空應(yīng)用。真空計(jì),也稱為真空表計(jì)和真空規(guī)管,是測(cè)量真空度或低氣壓的儀器。一般用氣體的某些物理效應(yīng)在不同壓力下的變化來測(cè)量壓力,用于科研和工業(yè)生產(chǎn)。
真空是一種物理現(xiàn)象,指的是氣體在特定空間內(nèi)低于大氣壓的狀態(tài)。在真空技術(shù)中,真空是相對(duì)大氣而言,一般是指特定空間內(nèi)的某些物質(zhì)被排出,使壓力小于一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓,那么我們稱這個(gè)空間為真空或真空狀態(tài)。在真空中,帕斯卡(Pascal) 托爾(Torr)毫巴(mbar)等常被用作壓力的單位。根據(jù)真空計(jì)測(cè)量原理所采用的不同物理機(jī)制,主要真空計(jì)可分為三類:利用力學(xué)性能(如波爾登真空計(jì)和薄膜電容規(guī))、利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)(如皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī))和利用帶電粒子效應(yīng)(熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī))。下面上海圭革智能傳感技術(shù)有限公司簡(jiǎn)單介紹一下皮拉尼原理。
皮拉尼原理:根據(jù)電熱絲的能量損失與電熱絲周圍的氣體濃度和氣體成分成正比的原理,用恒流源對(duì)燈絲進(jìn)行加熱。由于氣體粒子與電阻絲碰撞帶走能量,電阻絲的溫度會(huì)發(fā)生變化,導(dǎo)致電橋(的電阻發(fā)生變化,并根據(jù)電阻變化計(jì)算氣壓。真空傳感器是真空計(jì)中不可或缺的元件,通過真空傳感器才能檢測(cè)出真空度情況,比如微型皮拉尼真空傳感器PVC1000系列提供了突破性的真空測(cè)量解決方案,不但體積小,而且具有功耗、長(zhǎng)壽命、低現(xiàn)場(chǎng)維護(hù)和低成本的優(yōu)點(diǎn)。只需要少量氣體(腔內(nèi)體積)就可以實(shí)現(xiàn)高精度的測(cè)量,微型皮拉尼真空傳感器具有功耗和快速響應(yīng)時(shí)間。
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