朗繆爾探針是用于測量等離子體電子密度ne 和等離子體電位Vs 等參數(shù)的診斷，采用單朗繆爾探針，結構通常為金屬電極。當探針插入等離子體時，對探針施加從負到正的掃描電壓V，同時采集探針收集的等離子體電流I，分析I-V 曲線就可以確定等離子體參數(shù)。